外延生长论文

III 族氮化物外延层的缺陷

一、Ⅲ族氮化物外延层中的缺陷（论文文献综述）隋佳恩[1]（2021）在《非极性α面AlN材料中缺陷调控及物性研究》文中指出AlN基深紫外发光二极管（LED）凭借其优良的特性,在...